磷酸法是用磷酸浸渍木屑，在机械活化炉中进行活性炭的生产。磷酸法与氯化锌相比所具有的优点为：1：活性炭得率高：2活化力大，也就是磷酸法生产的活性炭质量相对比氯化锌法质量好；3不用盐酸洗涤易于精致；4不需要用高价的气体回收设备，氯化锌法所挥发的盐酸气体对人畜均有害因此必须投入一些资金处理这些气体。但是磷酸法也有它自身的缺点；1磷酸比氯化锌价格高；2磷酸在高温的情况下腐蚀性非常大，所以对设备的损耗相当严重。一定程度上加大了成本。

而磷酸在活化的过程有3---4%要被蒸发掉，还有3----4%的磷酸在于设备的接触过程要被损耗掉。目前磷酸法生产比较困扰的是磷酸在活化炉中随着温度的增加渐渐与木屑脱离进而与设备材料直接接触生成金属盐。如用耐热耐酸蚀镍基合金属做铁板材料基本上能控制磷酸损失。而这种材料成本过高，也不利于推广。因此在解决磷酸在活化过程的腐蚀问题与磷酸的回收再利用将是磷酸法工艺的一个重要课题。